單晶片清洗, 石英振動体超音波清洗機, 石英材質振盪子, 可對應各種化學清洗液, 多種頻率可供選購(1MHz, 2MHz, 3MHz, 4MHz), 更高頻率機型即將發表
單晶片清洗, 石英振動体超音波清洗機, 降低清洗Pattern後晶片損傷的風險, 減少清洗液使用量, 石英材質振盪子, 可對應各種化學清洗液, 多種頻率可供選購(1MHz, 2MHz, 3MHz, 4MHz)